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      工藝一次及二次配工程

      工藝一次及二次配工程

          從主系統預留閥(Take off Valve)接至工藝機臺(Tools)的工藝配管工程。

      包含大宗氣體(Bulk Gas)、特氣(Specailily Gas)、排風(Exhaust)、化學品(Chemical)、配電(Power)、工藝真空(PV)、純水(UPW)、冷卻水(PCW)、市政水(CW)、廢液排放(Drain)、泵排(Pump line)。


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