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      標準氣自動混配系統

      標準氣自動混配系統和工業混合氣自動混配系統:

      1、配氣種類:

      標準氣按O2、N2、Ar、Ne、He、Kr、XeCO2、CO、CH4、腐蝕類、H2等計8種組分(氣體種類可選);

      充瓶原料氣壓力10Mpa(最高充裝壓力14MPa)、常溫(0-25℃)。標準氣最大可配8(包括腐蝕性氣體,包括可燃性氣體),同時可充10L/8L/4L/鋼瓶(一次最多可充裝3瓶)。

      工業混合氣按O2、N2、Ar、Ne、He、Kr、XeCO2、CO、CH4、腐蝕類、H2等計6種組分;充瓶原料氣壓力15Mpa(最高充裝壓力18MPa)、常溫(0-25℃)。工業混合氣一般為6元氣(包括腐蝕性氣體,包括可燃性氣體),集裝格同時可充40L鋼瓶12個(2X6),散裝格設置同時6個鋼瓶充裝。

       

      2、配氣濃度及精度(修正符合標準氣體相關規定要求)

      多組分:10--5000ppm v/v, 相對誤差:5%以內;

                5000ppm--1% v/v,相對誤差:3%以內;

        單組分:  1% --10% v/v,相對誤差:1%以內;

                  10% --100% v/v,相對誤差:0.5%以內;

      3、配氣控制:

      工業控制計算機集中計算、控制。

      配氣控制采用上位嵌入式工控機+下位西門子PLC兩級控制。

      一)、上位機構主要應對:

      1)、配方管理(配比、參數等數據庫建立、維護和管理)

      2)、工藝管理(安全要求、配比禁忌、配氣順序等)

      3)、過程管理(配氣過程中間狀態參數管理、儲存、選擇)

      4)、操作界面(人機監控界面,含操作、設置、歷史管理等)

      二)、下位機主要應對:

      1)、過程控制(利用工業級PLC高可靠性及快速響應性能,實時驅動控制)

      2)、安全控制(利用工業級PLC自身的控制能力,可以脫機獨立運行、脫機響應)這一點可以規避PC機死機失控的漏洞。

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